지속 가능성
수자원의 효율적인 스포츠 보기 | SDGS에 대한 우리의 기여 활동
반도체 제조 공정 / 효율적인 물 사용 프로젝트 프로젝트는 수자원의 효율적인 사용을 통해 재활용 지향 사회의 실현에 기여합니다
2023 년 10 월에 출판. 인터뷰시기에 제휴 및 책임이 있습니다.
Recycle-Oriented Society를 달성하기 위해 Fuji Electric은 전체 공급망에서 3R (감소, 재사용, 재활용) 활동을 촉진합니다. 이 목표에 대한 우리의 이니셔티브 중 하나는 폐수 요구 사항을 준수하면서 수자원을 효율적으로 사용하는 것입니다. 구체적으로, 우리는 Matsumoto Factory와 Yamanashi Factory의 수자원을 효율적으로 사용하여 수년간 전력 반도체 제조 기지입니다. 이 기사에서는 Fuji Electric의 주요 SDG 목표 중 하나 인“12. 책임 소비 및 생산”중 하나를 구현하는이 두 공장에서 수자원의 효율적인 사용을 자세히 살펴볼 것입니다.

수자원의 효율적인 스포츠 보기은 Fuji Electric의 사명입니다.
Fuji Electric의 반도체 사업은 에너지 절약의 핵심 구성 요소 인 제조 전력 반도체를 중심으로합니다. 이 제품은 전기 자동차, 철도, 태양 광 발전 시스템 등에 사용되므로 탈탄 화 된 사회를 달성하는 데 중요한 역할을합니다.

제조 공정에서 Matsumoto Factory와 Yamanashi Factory는 전력 반도체 제조의 전제를 수행합니다. 그들은 얇은 시트 (실리콘 웨이퍼)에 전기 회로를 형성하여 칩으로 자릅니다. 물은 전력 반도체의 성능을 결정하는이 중요한 과정에서 필수 자원입니다. 반도체 제조 공정에서 필름 형성, 코팅 및 에칭과 같은 공정은 여러 번 반복되며 매번 청소를 위해서는 많은 양의 초음파수가 필요합니다. 또한, 생산 시설의 냉각수, 클리닝 룸에 필요한 특정 온도 및 습도를 유지하는 에어컨, 온실 효과 및 기타 공정을 갖는 클로로 플루오로 카본의 분해 또는 제거에 많은 물이 필요합니다. Matsumoto Factory의 Wafer Production Department의 수석 관리자 Hidenori Takahashi는 다음과 같이 수자원의 효율적인 사용을 향한 노력의 이유를 설명합니다..
“물은 반도체 제조에 필수적입니다. 우리는 현지 환경에 전적으로 고려할 수 있습니다. 우리는 또한 가능한 한 많은 폐수와 관련된 비용을 최소화합니다.이 귀중한 자원을 사용 하여이 영역에서 계속 운영하는 것만 큼 우리의 미션을 계속 고려하고 있습니다. 물을 버리는 대신 물을 재활용하려는 노력.”
구체적인 결과를 얻기 위해 개선이 추가되었습니다.

Matsumoto Basin은 모든 가정과 지역 산업에 물 공급을 제공하는 지하수가 풍부하게 스포츠 보기되어 운이 좋다. 즉, 자원의 양과 물 절약을 아는 것은 전체 지역의 수자원을 보존하는 데 중요합니다. Matsumoto Factory는 생산 시설에서 오랫동안 생산 된 폐수에서 재스포츠 보기 가능한 물을 분리 및 재활용하기 위해 노력해 왔습니다. 전환점은 2005 년에있었습니다. IWM (Integrated Water Management) 시설은 재활용 수를 더욱 증가시키기 위해 시행되었습니다. 공장은 재활용 폐수 작업을하기로 결정했으며, 이는 일반적으로 재활용하기 어려운 것으로 알려져 있습니다. Matsumoto Factory의 시설 유지 관리를 담당하는 Yoshitomo Ogimura는 다음과 같이 수행하는 이점을 설명합니다.
“반도체 공장에서 생산 한 폐수는 하이드로 플루오르 산 및 중금속과 같은 독성 물질을 제거하기 위해 먼저 취급됩니다. 그 후에,이 후에 Matsumoto 공장 내부의 하수 처리장에서 중화 된 후, Public Seigherage System에 중화 된 후, IWM 시설에 중화된다. 하수도 시스템은 폐수의 양을 줄이고 폐수 비용을 줄일뿐만 아니라 지하수 철수를 제한하여 지하 수자원의 보존에 기여합니다.”.

그러나 시설을 구현한다고해서 모든 문제가 해결되지는 않습니다. 과거 시설 관리자의 시행 착오는 그 전에 재스포츠 보기 할 수 없었던 수자원을 재스포츠 보기 할 수있게 해주었다.
“그들은 인산의 유입 경로를 확인하여 수중 플루오르 산의 농도를 증가시키고 막 여과 과정에서 여과 막을 차단하는 박테리아의 성장을 촉진 시켰으며, 유입을 방지하기위한 농도를 정기적으로 모니터링하고 정기적으로 양성을 제거 할 수 있었으며, 이들은 분명한 생명을 손상시킬 수있게되었다. 여과 막의 세척 방법은 또한 이러한 다양한 개선 사항을 재스포츠 보기하기 전에 값 비싼 역 삼투압에 적용하여 IWM 시설을 20% 이상의 과정을 수행하는 지속 가능한 작업으로 변형시킬 수있게합니다. 시행 착오를 반복합니다. 우리는 과거 관리자들과 함께이 기쁨을 맛보기를 희망합니다.” (Ogimura)

제조를 중단하지 않고 원하는 장비 생성.

Yamanashi 공장의 경우, Basin Hill의 사업체는 소량의 지하수 만 스포츠 보기할 수 있으며, 공장에서 스포츠 보기되는 물의 약 20%를 차지합니다. 공장은 스포츠 보기하는 대부분의 물에 대한 공공 수도 공급으로 공급되는 도시 물에 의존해야합니다. Yamanashi Factory의 웨이퍼 생산 부서 인 Ryoichi Ichikawa는 Yamanashi Factory의 수자원 재활용 이니셔티브를 다음과 같이 설명합니다.
“도시 물 공급에 한계가 있으며, 회수 된 폐수의 양 증가는 물 전하의 감소와 직접적으로 연결되어 있습니다. 폐수 회수를 회복하고 재스포츠 보기하는 것은 Yamanashi 공장에서의 폐기물에서 스포츠 보기하는 것과 같은 폐기물에 스포츠 보기하는 것입니다. 청소 과정과 저속성 화학 폐수는 비교적 재활용이 쉬웠 기 때문에 회복 과정을 회복하기 위해 작업을 시작했습니다.”.
그라인딩 프로세스 폐수 복구 및 재활용을위한 장비를 구현하고 설정할 때, 그들은 현장에서 필요한 운영 수를 늘리지 않고 기존 제조 공정에 영향을 미치지 않는 자동 시스템을 설정하는 데 중점을 두었습니다. 그들은 수동 작업을 수행하지 않고 자동으로 수자원을 재활용하려고했습니다. 또한 기존 폐수 처리 장비에 적합한 제어 시스템과 설립 될 새로운 연삭 공정 폐수 회수 장비를 만들고 싶었습니다. 무엇보다도, 그들은 반도체의 제조를 중단하지 않고이 큰 시스템을 설정해야했습니다. 이 모든 조건을 달성하기 위해 엄청난 노력을 기울인 것 같습니다.
“Yamanashi 공장은 1 년에 며칠 만에 반도체 제조를 중단합니다. 운영에 영향을 미치지 않기 위해서는 장비 전문가로서 제대로 작동하는 것을 만들어내는 장비 전문가로서의 우리의 임무였습니다. 우리는 반복적으로 조정을 수행하고 검사를 위해 테스트를 실시했을 때의 수감을 잊을 수 없었습니다. 장비를 운영 할 때 우리는 수자원을 효율적으로 사용하면서 반도체 제조에 기여할 수있었습니다.” (Ichikawa)

재활용 지향 사회를 고려하는 프로세스를 사용하여 에코 디자인 제품 제조.
회원들의 노력 덕분에 일련의 프로젝트는 큰 성공이었습니다. 그들은 Fuji Electric에서 반도체 제조에 필요한 수자원의 4 분의 1을 재활용 할 수있었습니다. 이 프로젝트 과정에서 생산 된 전력 반도체는 에코 디자인 제품으로서 탈탄화에 기여할뿐만 아니라 재활용 지향 사회를 고려하는 제조 공정을 사용하여 계속 생산 될 것입니다. 회원들은 사회의 기대를 계속 충족시키고 지속 가능한 지역 환경을 유지하는 등 다양한 원인에 대한 더 많은 도전을 해결하려고합니다.
“전력 반도체는 에너지 절약의 핵심 요소로서 수요를 증가시키고 있으며, 현재 탈탄화 된 사회를 달성하는 데 도움이되는 생산이 증가하고 있습니다.이 수요를 충족시키는 것은 물 수요를 더욱 증가시킬 것입니다. 이는 물 공급과 폐기물에 대한 더 많은 혁신이 필요할 것입니다. 이는 수질을 향한 노력을 기울여야 할 것입니다. 이 과제에서 그 어느 때보 다 강한 의지를 가진 팀으로서.” (Takahashi)

Fuji Electric의 물 재활용 금액 (일본)의 추세

SDG에 대한 기여

Fuji Electric은 SDG 목표,“12. 책임 소비 및 생산”의 주요 목표 중 하나를 고려하고 환경 비전 2050에 따라 재활용 지향 사회를 달성하는 것을 목표로합니다. 이러한 활동의 일환으로 폐수 요구 사항을 준수하면서 수자원의 효율적인 사용을 향한 노력을 기울이고 있습니다.